“只看外表，和J能、N康的光刻机似乎都不太一样，这是对外壳进行了优化吗？”
乌光辉摇摇头，回答道：
“不止优化了外壳，也优化了部分内部结构。老板你提供的资料里不是有一部分05微米光刻机的预研资料吗，廉教授他们研发一微米光刻机的时候，参考了05微米光刻机的内部结构，对设计图进行了一些更改优化。理论上来说，这些优化对晶圆的加工速度和加工精度，都有所提升，实际情况如何，还需要测试过后才知道。”
廉安平教授等人又忙活了半个多小时，光刻机终于调试完成，将提前准备好的掩膜版固定到掩膜版工作台上。