本来就热闹的除夕饭因为这么个大消息爆出来,那就更热闹了,一顿饭到后来也就俩孩子还有心思吃了,其他人更关注的何盛华他们厂子的事情。
这个年过得十分快乐,但很短暂,才到初二,何景韩教授他们便又去上班了。
新年开始,齐老便召集所有人召开了个会议。
“扫描光刻机进展十分缓慢,光源是个很大的问题,我想问一下,你们有没有什么想法,大胆地说。”首位上,齐老面色凝重地看着在场的那些人。
坐在会议室椅子上的人闻言都沉思了起来,一副凝神思考的样子,并没有人出来发表自己的看法。
何景也在沉思着,适合步进式扫描光刻机的光源又不少,但想要做出更好更精密的芯片,那种光源可不是那么好找的,再说了,即使确定类型了,能不能掌握这种光源那也是个问题。
就在沉默中,终于有人开口,“现有光刻机使用的光源有激光、紫外光、深紫外光,最近国外还提出了一种类型的光源,便是极紫外光。只是这种光源还处于研究之中,并不是我们能掌握的。”
随着他开口,立马又有不少人开口了。
“是啊,所长,极紫外光波长足够短,按照原理,具有极好的成像效果,且能缩小芯片,但我们并没有办法掌握这个光源。”
“我也查过不少资料了,国外也才开始研究,需要花费很长时间,也不一定会有结果。”
“不然还是还是在深紫外光领域进行深挖吧?”
“估计不行,根据发展定律,这种光源能挖掘的潜力有限。”
“还只能从极紫外光着手了啊!”
“那肯定是啊,就是我们花国光学发展还不行吧!”
“唉,估计很难!”
“我们这也有专业的光学研究员的吧?”
“是啊,不然漫漫开始研究?”
众人十分激烈地讨论了起来,会议室一下子变得十分热闹。
何景没有说话,这些人都说得很对,眼下想要在光刻机方面有突破的话,那就需要掌握极紫外光这种光源,可现在的技术也是个问题,毕竟花国科学发展时间有限,很多方面不能和国外相比。
要知道即使在三十年之后,能掌握这种高端光源的国家也是屈指可数的,更何况是现在呢。
齐老听着他们争吵,目光不由得落在了何景身上。他咳嗽了几下,在场众人立马就安静了下来,所有人都看向了齐老。
齐老则是看着何景,“何教授,你是个什么想法?”
何景并没有惊讶,他这个师伯就是喜欢拉着他出来说话,便开口道:“大家都说得十分对,眼下想要突破的话的确是要研究极紫外光光源,所以极紫外光是必须要研究的。不过我们这边实力有限,所以最好还是寻求其他方面的帮助,Q大那边有个光学研究小组,听说他们在研究的就是各种光源,如果可以的话,我们能够寻求他们的帮助。”
何景记得在若干年之后,Q大光学研究所也研究出了极紫外光光源,这是很大的突破。
当然那个项目是在很久以后才开始的,所以一直到二十多年之后才成功,如果这一世能早一些开始的话,说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间,齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究,所以不能太着急。
齐老闻言思考了起来,“你说的那个小组能力怎么样?你觉得他们大概需要多久能有突破?”
何景笑了下,无奈摇头,“这我就不知道了,毕竟我和那边也没有多少了解,只是大概知道有这个研究小组,我们可以先接触接触,或者在全球范围内找一找,大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家,过来这边研究。”
两种方式各有优劣,弄到研究所这边来的话,他们就比较有主导权,也能更方便进行实验,但自己管理的话,需要操心的东西就会多不少,还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来,还需要研究那么长时间,也不一定那些人会愿意。
齐老点点头,并没有立马发表自己的看法,反而是看向了其他人。
“你们怎么看?”
“合作吧,专业的活还是要找专业的人干。”
“是啊,可以多放联系一下,如果有人正好在研究这个的话,那就好了。”
“嗯,还是要好好挑选下合作对象,毕竟实力还是十分重要的。”
“.....”
大部分人都倾向于合作,这样他们也能轻松不少。
齐老想了下,最终还是拍板合作这个方式了,“行,那就寻求外部合作吧,卢副,你尽快调查下合适的光学研究单位,看看那个单位对这个项目感兴趣。”
卢副所长立马点头答应,“好,我会尽快去办的。”
齐老满意点头,之后又看向其他人,“行吧,那我们继续说下面的问题。”
“何景,这次曝光的方式是怎么进行的?”
这个就是何景知道的了,赶忙道:“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式,掩模板对着晶元同步进行扫描。”
“投影倍镜的倍率最好蛇追在4:1......”